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目的

作業人員或物品要進入無塵室以前先經過HEPA FILTER之高速清淨空氣將附著人體,衣服或物品表面之污染物吹落並吸收之設備。

範圍

全廠AIR SHOWER

設計參考文件

工業技術研究院能源與資源研究所研究資料。

下面敘述空氣噴射速度和空氣浴塵機除去空氣微量子的效率:

˙這圖表非出空氣噴射速度如循環空氣微

˙微量子也會產生在內部穿著的系 統上:

量子濃度兩者之關係: